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薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー・内部応力・密着性

フォーマット:
図書
責任表示:
金原粲 [ほか] 編
言語:
日本語
出版情報:
東京 : リアライズ社, 1992.3
形態:
610p, 図版2p ; 27cm
著者名:
金原, 粲(1933-) <DA00208588>  
書誌ID:
BN10535145
ISBN:
9784947655523 [4947655526]  CiNii Books  Webcat Plus  Google Books
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