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機能性複合化合物材料の合成に向けた選択的運動量制御型プラズマ成膜技術の開発

フォーマット:
図書
責任表示:
研究代表者 佐藤直幸
言語:
日本語
出版情報:
[日立] : [茨城大学大学院理工学研究科], 2008.5
形態:
100p ; 30cm
著者名:
佐藤, 直幸  
シリーズ名:
科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書 ; 平成16年度-平成18年度 <BA30193701>
書誌ID:
BA86746918
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