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20nm技術LSI用Cu配線材料の研究

フォーマット:
図書
責任表示:
研究代表者 大貫仁
言語:
日本語; 英語
出版情報:
[日立] : [茨城大学工学部], 2008.5
形態:
1冊 : 挿図 ; 30cm
著者名:
大貫, 仁  
シリーズ名:
科学研究費補助金(基盤研究A)研究成果報告書 ; 平成17年度-平成19年度 <BA31816366>
書誌ID:
BA86747499
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1 図書 半導体材料工学 : 材料とデバイスをつなぐ

大貫, 仁

内田老鶴圃
7 図書 宇宙構造用材料の技術動向調査報告書

次世代金属・複合材料研究開発協会

日本機械工業連合会
2 図書 高分子材料の活用技術

大石, 不二夫(1940-)

日刊工業新聞社
8 図書 宇宙構造物用材料の技術動向調査

次世代金属・複合材料研究開発協会

日本機械工業連合会 : 次世代金属・複合材料研究開発協会
3 図書 金属材料の研究

東北帝國大學

岩波書店
9 雑誌 金属材料技術研究所年報

科学技術庁金属材料技術研究所, 文部科学省金属材料技術研究所, 物質・材料研究機構

科学技術庁金属材料技術研究所
4 雑誌 研究報告集. 金属材料技術研究所

物質・材料研究機構

物質・材料研究機構
10 図書 金属材料技術研究所年報

科学技術庁金属材料技術研究所

科学技術庁金属材料技術研究所
5 図書 建設材料の研究

日本學術振興会第33小委員會

丸善出版
11 図書 Cの科学と技術 : 炭素材料の不思議

白石, 稔, 大谷, 朝男, 京谷, 隆, 山田, 能生

コロナ社
6 図書 エンジン用材料の科学と技術

山縣, 裕

左近堂, 三樹書房 (発売)
12 図書 教材教具の研究と活用技術

大隅, 紀和(1940-)

第一法規出版