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微細加工技術
- フォーマット:
- 図書
- 責任表示:
- 高分子学会編
- 言語:
- 日本語
- 出版情報:
- 東京 : エヌ・ティー・エス, 2002.9
- 形態:
- v, 192, vp ; 27cm
- 著者名:
- 高分子学会 <DA00047161>
- シリーズ名:
- ポリマーフロンティア21シリーズ ; 13 <BA46100324>
- 書誌ID:
- BA59010960
- ISBN:
- 9784860430061 [4860430069] (基礎編)
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