超微細加工技術 | 茨城大学附属図書館 OPAC

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超微細加工技術

フォーマット:

図書

責任表示:

応用物理学会編 ; 徳山巍編著

言語:

日本語

出版情報:

東京 : オーム社, 1997.2

形態:

xiv, 309p ; 22cm

著者名:

シリーズ名:

応用物理学シリーズ / 応用物理学会編 ; 専門コース||センモンコース <BN03224101>

書誌ID:

BN15970232

ISBN:

9784274023323 [427402332X]

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詳細

主題:	ガラス; ガラス製品; 集積回路
分類・件名:	NDC9 : 549.7 NDC8 : 573.5 NDC8 : 549.8 NDLC : PA241 NDLSH : ガラス NDLSH : ガラス製品 BSH : 半導体 NDLSH : 集積回路
注記:	参考文献: 各章末索引: p[305]-309 執筆: 徳山巍ほか
タイトルのヨミ、その他のヨミ:	チョウビサイカコウギジュツ
TTLL:	jpn
著者名ヨミ:	オウヨウブツリガッカイトクヤマ, タカシ

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